在SEM应用中，临界点干燥程序是对精密样本实施干燥的有效方法。临界点干燥保全了样本的表面结构，否则，当样本从液态变为气态时可能会因为表面张力而导致表面结构受到破坏。徕卡EM CPD300临界点干燥仪干燥过程全自动控制，可以对像花粉、组织、植物、昆虫等生物样品，以及如微型机电系统（MEMS：Micro Electro Mechanical Systems）等样品进行干燥，使其适宜于SEM检测。